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全自動(dòng)超加工機(jī) 在短時(shí)間內(nèi)提高軸承R面滑動(dòng)部的形狀及面粗度 確保砂輪旋轉(zhuǎn)數(shù)的穩(wěn)定性，可任意設(shè)定漲落驅(qū)動(dòng)中的漲落數(shù)、漲落角度、速度等。

仿生機(jī)器人型加工機(jī) 穩(wěn)定的定位精度 X軸搭載分辨率為0.05微米的光學(xué)尺度的閉環(huán)規(guī)格 行程尺寸·主軸旋轉(zhuǎn)數(shù)等可選的選項(xiàng)充實(shí) 機(jī)器機(jī)器人一體確保復(fù)原性和位置精度 比機(jī)械腳固定多關(guān)節(jié)機(jī)器人，確保穩(wěn)定的精度

小型機(jī)器人型加工機(jī) 從大型機(jī)順利過(guò)渡到自動(dòng)化 X軸滑動(dòng)滾珠螺釘采用浴油方式保持穩(wěn)定加工尺寸 機(jī)器機(jī)器人一體確保復(fù)原性和位置精度 比機(jī)械腳固定多關(guān)節(jié)機(jī)器人，確保穩(wěn)定的精度

基于“追求≤±1μm的實(shí)際加工精度”的概念而開(kāi)發(fā)的Android。通過(guò)改良，即使在高速加工條件下，亦可最大限度地抑制位移，實(shí)現(xiàn)更高精度的加工，其已成長(zhǎng)為滿足用戶更高需求的新一代Android。其名為，超高精度高速微細(xì)加工機(jī)AndroidⅡ。

超高精度高速微細(xì)加工機(jī) 每個(gè)軸都配有兩臺(tái)線性電動(dòng)機(jī)。由于其吸力被抵消，并抑制了由線性電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生的趨向移動(dòng)物體和導(dǎo)向面的偏心荷載。 為了應(yīng)對(duì)熱源問(wèn)題，在線圈內(nèi)部和安裝部位采用了雙重冷卻方式。 自帶標(biāo)度反饋：最高分辨率0.00025μm（0.25 nm）通過(guò)全閉環(huán)方式，針對(duì)指令值進(jìn)行實(shí)際移動(dòng)距離的絕對(duì)校準(zhǔn)，可確保穩(wěn)定的定位功能。