晶體方位檢測(cè)系統(tǒng)的特點(diǎn)：

1.實(shí)現(xiàn)角度測(cè)量的高精度化
根據(jù)獨(dú)自的測(cè)角系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性和線性。
2.長(zhǎng)期穩(wěn)定性能
機(jī)構(gòu)部具有很高的剛性和耐久性，能夠長(zhǎng)期維持穩(wěn)定的性能。
3.采用X射線檔案峰值檢測(cè)功能
根據(jù)統(tǒng)計(jì)處理技術(shù)，采用X射線檔案峰值檢測(cè)方式，可獲得高精度穩(wěn)定的角度測(cè)量性能。
4.高速、高精度測(cè)量
不僅有4方位測(cè)量功能，還有2方位測(cè)量功能，測(cè)量時(shí)間只需要4方位測(cè)量的1/2。(不包括SU-001)
方位測(cè)量是用球面幾何學(xué)精確求解結(jié)晶方位的X,Y傾斜度。為此以和4方位測(cè)定相同的精度求出。
5.X射線劑量測(cè)定系統(tǒng)
X射線量測(cè)定系統(tǒng)通過脈沖海分析儀降低散射等誤差原因，篩選出Cu的特性X射線，可進(jìn)行高精度的測(cè)定。
6.采用高靈敏度檢測(cè)器(可支持偏移角大的結(jié)晶)
檢測(cè)器對(duì)應(yīng)檢測(cè)的X射線(Cu的K α)具有高靈敏度。另外，由于是氣體檢測(cè)器，所以對(duì)X射線的入射位置和方向的檢測(cè)靈敏度的變動(dòng)很小，對(duì)于結(jié)晶面的傾斜角的變化可以進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。

晶體方位檢測(cè)系統(tǒng)的參數(shù)：